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Filtered Air Supply
Model : 3074B-
Use
□ 입자 발생기에서 발생되는 오일 및 액적제거
□ 입자 생성 및 컨디셔닝
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Feature
□ Membrane 을 사용하여 Air 에 남아있는 수분 제거
□ 2℃에서 최대 유속 56L/min 까지 가능
□ Inlet Pressure 최대 100 kPa(150 psig)
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Use
□ 입자 발생기에서 발생되는 오일 및 액적제거
□ 입자 생성 및 컨디셔닝
□ Membrane 을 사용하여 Air 에 남아있는 수분 제거
□ 2℃에서 최대 유속 56L/min 까지 가능
□ Inlet Pressure 최대 100 kPa(150 psig)