□ Canister 내 잔류 시료 및 오염물 제거
□ EPA Method TO-14A 및 TO-15 기준 부합
□ 듀얼 펌프 사용 (Turbo Pump and Diaphragm Pump)
□ 최종 진공 압력 : <10mTorr
□ 다양한 캐니스터 용량의(1 / 3 / 6 / 15L) 클리닝
□ Auto leak 검사 및 humidification 기능
□ 손쉬운 작동법
