유해 및 악취 가스 분석기
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HCl/HF Analyzer
Model : GLA231-HFHC/GLA331-HFHC Catalog 1
Catalog 2
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Use
□ 안전을 위한 Leak 탐지
□ 대기 중 HCl, HF 모니터링
□ FOUP에서의 HCl, HF 모니터링
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Feature
□ 최신 레이저 분석기술인 Off-Axis ICOS법 적용
□ 분석기 및 데이터 보안을 위한 암호보호기능
□ 분석기 상태 및 농도확인을 위한 터치스크린 디스플레이
