□ 입자 발생기에서 발생되는 오일 및 액적제거
□ 입자 생성 및 컨디셔닝
□ Membrane 을 사용하여 Air 에 남아있는 수분 제거
□ 2℃에서 최대 유속 56L/min 까지 가능
□ Inlet Pressure 최대 100 kPa(150 psig)
